Sebagai peralatan inti dari industri sirkuit terpadu, beberapa orang menyebut mesin litografi sebagai "mesin yang paling canggih dan rumit bagi umat manusia". Sebagai peralatan terpenting dalam pembuatan chip, mesin litografi juga dikenal sebagai "mesin eksposur" sebagai peralatan inti untuk manufaktur chip. Satu. Mesin litografi adalah perangkat yang menggunakan laser excimer panjang gelombang ultraviolet untuk menghapus film pelindung pada permukaan wafer melalui template, dan kemudian merendam wafer dalam agen korosif. Bagian yang kehilangan film pelindung terukir untuk membentuk sirkuit.
Mesin litografi yang umum digunakan adalah litografi penyelarasan masker, dan proses litografi umum melibatkan pembersihan dan pengeringan permukaan wafer silikon, lapisan bawah, fotoresis lapisan spin, kue lunak, pencahayaan keselarasan, pasca-memanggang, mengembangkan, memanggang keras, etsa dan proses lainnya. Kualitas mesin litografi secara langsung menentukan tingkat chip proses apa yang dapat diproduksi, yang menunjukkan pentingnya.
Dan tahun ini, baik Apple, Samsung dan Huawei sedang bersiap untuk mengembangkan chip ponsel 5nm baru. Sekarang apakah itu A14 Apple, chip Snapdragon 888 Qualcomm, atau Samsung Exynos 1080, Kirin 9000, dll., semuanya mewakili tingkat chip 5nm tertinggi di industri. Di bidang 5G dan mobile, dapat dilihat bahwa berbagai produsen bersiap-siap. Chip 5nm tampaknya mencapai batas mereka, tetapi di masa depan chip akan terus meningkat dan meningkat, dan bahkan terobosan teknologi yang lebih besar masih belum diketahui, dan mesin litografi harus memainkan peran. Peran yang sangat diperlukan dan penting.
Sebagai salah satu peralatan presisi paling kompleks di dunia, pada kenyataannya, selain produksi chip, ada juga litografi untuk kemasan atau litografi proyeksi untuk manufaktur LED. Saat ini, mesin litografi kelas atas negara saya pada dasarnya diimpor dari ASML Belanda. Bahkan, tidak peduli dalam pembuatan atau desain chip kelas atas, layanan satu atap desain chip dan manufaktur telah dimonopoli oleh negara-negara Barat. Industri-industri di negara saya saat ini sedang dikendalikan oleh orang lain.
Pola global mesin litografi
Saat ini, produsen utama mesin litografi global adalah: ASML, Nikon, Canon, Otech, Shanghai Microelectronics Equipment, SUSS, ABM, Inc.. Mesin litografi proyeksi kelas atas dapat dibagi menjadi dua jenis: proyeksi langkah dan mesin litografi proyeksi pemindaian. Resolusinya biasanya antara tujuh nanometer dan beberapa mikrometer. Mesin litografi kelas atas dikenal sebagai instrumen paling tepat di dunia. Ada 1,2 mesin litografi senilai satu miliar dolar.
Mesin litografi kelas atas dapat disebut bunga industri optik modern, dan manufakturnya sangat sulit sehingga hanya beberapa perusahaan di dunia yang dapat memproduksinya. Ini terutama tiga merek utama merek asing: ASML dari Belanda, Nikon dari Jepang dan Canon dari Jepang.
Sebelum ini, presiden ASML, produsen mesin litografi global terkemuka, mengatakan bahwa bahkan jika gambar-gambar itu dipublikasikan, kita tidak akan pernah bisa meniru mesin litografi top.
Bahkan, ASML memiliki pangsa pasar 90% dalam produk serupa di dunia, dan hampir 100% pangsa pasar di bawah node 10nm, hampir memonopoli inti manufaktur chip kelas atas global. Dan laba perusahaan mereka telah mencapai 2-3 miliar euro dalam beberapa tahun terakhir. Pesaing lain dalam industri yang sama pada dasarnya tidak dapat mengejar ketinggalan, dan bahkan Amerika Serikat berada di luar jangkauan.
Dengan sanksi dan larangan penjualan yang diberlakukan oleh Amerika Serikat, satu-satunya jalan keluar untuk mesin litografi negara saya adalah penelitian dan pengembangan independen. Meskipun ASML dapat mempertahankan posisi terdepannya dalam teknologi dan pasar, dengan perkembangan teknologi di masa depan, inovasi teknologi dan terobosan, kesenjangan ini akan dipersem persempit lebih cepat.
Saat ini, saluran rantai pasokan chip kelas atas domestik sangat terkendala oleh negara-negara asing. Cara melewati R&D chip kelas atas dan manufaktur melalui penelitian dan pengembangan independen adalah masalah terbesar saat ini.