Dalam seluruh rantai industri semikonduktor, pengolahan dan manufaktur adalah salah satu link yang paling penting. Dengan pasar yang begitu besar, peralatan proses semikonduktor menyediakan dasar manufaktur untuk semikonduktor manufaktur skala besar. Makalah ini akan fokus pada apa peralatan utama dalam proses produksi semikonduktor.
1, tungku kristal tunggal
Fungsi peralatan: melelehkan bahan semikonduktor, menarik kristal tunggal, untuk pembuatan perangkat semikonduktor berikutnya, menyediakan billet semikonduktor kristal tunggal.
Merek internasional utama: PVA TePla AG (Jerman), Ferrotec (Jepang), QUANTUM DESIGN (AS), Gero (Jerman), KAYEX (AS).
Merek domestik utama: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi 'an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi 'an Huade, The 48th Institute of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Tungku epitaksiial fase gas
Fungsi peralatan: untuk menyediakan lingkungan proses khusus untuk pertumbuhan epitaksial fase gas, untuk mewujudkan pertumbuhan kristal lapisan tipis dengan hubungan yang sesuai dengan fase kristal tunggal pada kristal tunggal, dan untuk membuat persiapan dasar untuk realisasi fungsional tenggelamnya kristal tunggal. Epitaksi fase gas adalah proses khusus deposisi uap kimia, di mana struktur kristal dari lapisan tipis pertumbuhan merupakan kelanjutan dari substrat kristal tunggal dan sesuai dengan orientasi kristal substrat.
Merek internasional utama: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Materi Terapan.
Merek domestik utama: China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Sistem epitakksia sinar molekuler
Fungsi peralatan: Sistem epitaksi sinar molekuler, menyediakan peralatan proses untuk menumbuhkan film di permukaan bawah sesuai dengan spesifik; Molecular beam epitaxy (MBEA) adalah teknik untuk menyiapkan film tipis kristal tunggal. Hal ini digunakan untuk tumbuh lapisan film tipis demi lapisan sepanjang sumbu kristal substrat di bawah substrat yang sesuai dan kondisi yang sesuai.
Merek internasional utama: Riber (Prancis), Veeco (AS), Instrumen DCA (Finlandia), SVTAssociates (AS), NBM (AS), Omicron (Jerman), MBE-Komponenten (Jerman), perusahaan Oxford Applied (UK) Research (OAR).
Merek domestik utama: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Tungku oksidasi (VDF)
Fungsi peralatan: Untuk perawatan oksidasi bahan semikonduktor, menyediakan atmosfer oksidasi yang diperlukan, untuk mencapai desain yang diharapkan dari proses pengolahan oksidasi semikonduktor, merupakan hubungan yang sangat diperlukan dalam proses pengolahan semikonduktor.
Merek internasional utama: UK Thermco Company, Jerman Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG perusahaan.
Merek domestik utama: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group lembaga ke-48, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co, LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute.
5. Sistem Deposisi Uap Kimia tekanan rendah (LPCVD)
Fungsi peralatan: Uap yang mengandung gas atau cairan reaksi-agen yang merupakan unsur-unsur film dan gas lain yang diperlukan untuk reaksi diperkenalkan ke ruang reaksi peralatan LPCVD, dan film ini dihasilkan oleh reaksi kimia pada permukaan substrat.
Merek internasional utama: Hitachi International Electric Company,
Merek domestik utama: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory.
6. Plasma Ditingkatkan Sistem Deposisi Uap Kimia (PECVD)
Fungsi peralatan: gunakan pelepasan cahaya di ruang deposisi, membuatnya mengionisasi dan melakukan reaksi kimia pada substrat untuk menyimpan bahan film tipis semikonduktor.
Merek internasional utama: Proto Flex (AS), Tokki (Jepang), Shimadsu (Jepang), Lam Research (AS), ASM International (Belanda).
Merek domestik utama: China Electronics Technology Group 45th Institute, pabrik Instrumen Beijing, Pabrik Mesin Shanghai.
7. Magnetron Sputtering Table (MSA)
Fungsi peralatan: melalui medan magnet tertutup sejajar dengan permukaan target dalam sputtering bipolar, dan medan elektromagnetik ortogonal terbentuk pada permukaan target, elektron sekunder terikat pada area spesifik permukaan target, untuk mencapai kepadatan ion tinggi dan ionisasi energi tinggi, dan atom atau molekul target disimpan pada substrat dengan tingkat tinggi tergagap untuk membentuk film.
Merek internasional utama: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, perusahaan Platit, perusahaan Balzers dan perusahaan Cemecon.
Merek domestik utama: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Shanghai Machinery Factory.
8. Mesin Pemoles mekanis kimia (CMP)
Fungsi peralatan: melalui penggilingan mekanis dan pembubaran cairan kimia "korosi" dari efek gabungan, untuk dijeda (semikonduktor) polishing.
Merek internasional utama: Bahan Terapan, Norfa Systems, Rtec.
Merek domestik utama: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, mesin litografi
Fungsi perangkat: lem merata pada permukaan substrat semikonduktor (wafer silikon), mentransfer pola pada masker ke fotoresis, dan untuk sementara "menyalin" perangkat atau struktur sirkuit ke wafer silikon.
Merek internasional utama: ASML (Belanda), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Merek domestik utama: China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Sistem Etsa Ion Reaktif (RIE)
Fungsi peralatan: tegangan frekuensi tinggi diterapkan antara elektroda pelat untuk menghasilkan lapisan ion ratusan mikron tebal, dan pola dampak kecepatan tinggi ion dimasukkan ke dalam pola, untuk mencapai etsa reaksi kimia dan dampak fisik, dan untuk mencapai pengolahan semikonduktor dan pencetakan.
Merek internasional utama: Japan Evatech Company, perusahaan NANOMASTER Amerika Serikat, Singapore REC Company, perusahaan JuSung Korea Selatan, Perusahaan TES Korea Selatan.
Merek domestik utama: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group forty-eighth Institute.
11. Sistem etsa plasma ICP
Fungsi peralatan: satu atau lebih atom gas atau molekul dicampur dalam ruang reaksi, di bawah aksi energi eksternal (seperti frekuensi radio, gelombang mikro, dll) untuk membentuk plasma, di satu sisi, kelompok aktif dalam plasma dan bahan permukaan yang akan terukir reaksi kimia, menghasilkan produk volatil; Di sisi lain, ion dalam plasma dipandu dan dipercepat di bawah aksi tekanan bias untuk mewujudkan korosi terarah dan korosi yang dipercepat dari permukaan yang terukir.
Merek internasional utama: Oxford Instruments (Inggris), Torr (AS), Gatan (AS), Quorum (Inggris), Leeman (AS), Pelco (AS).
Merek domestik utama: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronic Technology Group 48th Institute, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, North Microelectronics, Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, etsa basah dan mesin pembersih
Fungsi peralatan: Etsa basah adalah bahan etsa yang direndam dalam larutan etsa untuk teknologi korosi. Pembersihan adalah untuk mengurangi kontaminasi, yang dapat mempengaruhi kinerja perangkat, menyebabkan masalah keandalan, dan mengurangi hasil, yang membutuhkan pembersihan menyeluruh sebelum setiap lapisan proses berikutnya atau sebelum lapisan berikutnya.
Merek internasional utama: Screen (Jepang), SEMES (Korea), Tokyo Electron (Jepang), Lam Research (Amerika).
Merek domestik utama: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Mesin implantasi ion (IBI)
Fungsi peralatan: doping area di dekat permukaan semikonduktor.
Merek internasional utama: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. dan Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (diakuisisi oleh AMAT).
Merek domestik utama: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, bangku uji probe
Fungsi perangkat: Melalui kontak probe dengan pad perangkat semikonduktor, tes listrik dilakukan untuk memeriksa apakah indeks kinerja semikonduktor memenuhi persyaratan kinerja desain.
Merek internasional utama: perusahaan Ingun Jerman, perusahaan QA, perusahaan MicroXact, perusahaan Ecopia, perusahaan Leeno.
Merek domestik utama: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Mesin pengencer Wafer
Fungsi: mengurangi ketebalan wafer dengan memoles.
Merek utama internasional: Japan DISCO Company, perusahaan G&N Jerman, perusahaan OKAMOTO Jepang, perusahaan Israel Camtek.
Merek domestik utama: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Grinding Equipment Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Mesin Penulisan Wafer (DS)
Fungsi perangkat: Wafer, dipotong menjadi potongan-potongan kecil Die.
Merek internasional utama: perusahaan OEG Jerman, Japan DISCO Company.
Merek domestik utama: Kelompok teknologi elektronik China, kechuang Beijing dengan memulai sumber teknologi fotolistrik co., LTD., shenyang institute of instrumentation technology, northwest machine co., LTD., (pabrik 709) memiliki pabrik mesin barat laut, mesin elektronik hui sheng dan perusahaan peralatan, lanzhou: laser, co., LTD., shenzhen ruby laser equipment co., LTD., Wu Hansan worker, Zhuhai Lianoptronics, Teknologi Zhuhai Yuemao.
17. Wire Bonder
Fungsi perangkat: Hubungkan Pad pada chip semikonduktor dengan Pad pada pin dengan kawat logam konduktif (kawat emas).
Merek internasional utama: American Ottey, German TPT, Austria FK, Malaysia UNISEM.
Merek domestik utama: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malaysia Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.